以線性馬達為致動器的精密系統

  利用線性馬達作為致動器的應用範圍甚廣,諸如磁浮列車、自動倉儲庫系統、在真空環境下進行半導體遮罩修補(Mask Repair)或晶圓(Wafer)之傳送、x-y繪圖機、印刷電路板(PBC)的組裝、切割機構、繞線機構、磁碟機、光碟機讀寫頭、自動化製造等。
 
  線性馬達(Linear Motors)是將一般旋轉型馬達的轉子(Rotor)、定子(Stator)與氣隙(Air Gap)作直線的展開,利用電能直接轉換為直線動能的推力發生裝置的總稱。
 
使用線性馬達作為致動器的優點:
 
1. 線性馬達直接驅動負載以產生直線運動,因此不需要轉換機構,如凸輪、皮帶、導螺桿、齒輪、齒條等,可省去轉換機構之間的磨耗現象,提高轉換效率與可靠性。
 
2. 線性馬達本身構造簡單,維護容易,不需要轉換機構,而得到直線的推力,且在有限行程中能很快地加減速。
 
3. 線性馬達的一次側定子與二次側轉子的長度可自由伸展,而得到各種行程。
 
4. 線性馬達因一次側定子與二次側轉子無直接接觸,可大幅降低磨擦係數,因此易於製作成高精度、高轉換效率的各種機械。
 
而也有以下的缺點:
1. 線性馬達會受到“終端效應(End Effects or Edge Effects)”現象的影響,使得在高速的線性馬達中推力減小;但對於小型低速的線性馬達沒有多大的影響。
 
2. 旋轉型電動機因為是以轉軸作為旋轉中心,氣隙的分佈較能保持一定,但線性馬達要保持一定的氣隙則較為不容易。
 
3. 線性馬達的一次側定子與二次側轉子間的排斥力或吸引力,會造成支撐機構的負荷增加。