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諸 論: 微機電序論
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第一單元: 微機電應用 |
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第二單元: 微機電相關材料與製作 |
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第三單元: 微影製程 |
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第四單元: 微細加工 |
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第五單元: LIGA技術 |
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第六單元: 微感測器1 微感測器2 微感測器3 |
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第七單元: 致動器1 致動器2 致動器3 |
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第八單元: 封裝 |
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第九單元: 壓電薄膜微加速度感測元件的設計與製造 |
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考古題: 92年 期中考 期末考 |