劉永田老師--奈米致動器之驅動原理與應用

 

  

1-氣壓驅動與衝擊力驅動機構

2-衝擊力驅動機構之驅動原理

3-滑動式衝擊力驅動機構

4-XY奈米定位平檯的控制

5-利用壓電飛行鋼絲之精密定位裝置

6-與氣壓缸藕合之壓電致動器(-DOF)

7-與氣壓缸藕合之壓電致動器(3-DOF)

8-與音圈馬達藕合之壓電致動器

9-多自由度定位裝置的組成