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相關網址 |
網址：
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教科書 |
上課講義 |
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參考書籍 |
1. Fundamentals of Microfabrication: The Science
of Miniaturization, 2nd Ed., by Marc J. Madou,
CRC Press, 2002.
2. 微機電系統技術與應用, 國科會/著, 全華科技, 2003.
3. VLSI製造技術, 六版, 莊達人編著, 高立圖書, 2006. |
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評分方式 |
論文報告: 10%
期中測驗: 30%
實驗表現與報告: 30%
期末測驗: 30% |
對修習學生
建議事項 |
應將原理與實驗實作配合,加以研習與理解,並於實作時確實遵守實驗安全規則 |
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預計進度 |
1. 精微模具技術簡介
2. 微機電製程簡介
3. LIGA 製程技術
4. UV-LIGA 製程技術
5. 準分子雷射LIGA 製程技術
6. 微電鑄製程技術
7. 微射出成形技術
8. 微熱壓成形技術
9. 實驗實作-微流道晶片與微齒輪實驗實作
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